A Novel Manganese(II) MOCVD Precursor
A NOVEL MANGANESE(II) MOCVD PRECURSOR: SYNTHESIS, CHARACTERIZATION, AND MASS TRANSPORT PROPERTIES OF MN(HFA)2•TMEDA / Z. LIPANI; M.R. CATALANO; P. ROSSI; P. PAOLI; G. MALANDRINO. - In: CHEMICAL VAPOR DEPOSITION. - ISSN 0948-1907. - STAMPA. - 19:(2013), pp. 22-28. [10.1002/cvde.201207017]
A NOVEL MANGANESE(II) MOCVD PRECURSOR: SYNTHESIS, CHARACTERIZATION, AND MASS TRANSPORT PROPERTIES OF MN(HFA)2•TMEDA
ROSSI, PATRIZIA;PAOLI, PAOLA;
2013
Abstract
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