Study of a special method for performing depth profiling of a solid substance
Sputter depth profiling by secondary ion mass spectrometry coupled with sample current measurements / U. Bardi;S.P. Chenakin;A. Lavacchi;C. Pagura;A. Tolstogouzov. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - STAMPA. - 252:(2006), pp. 7373-7382. [10.1016/j.apsusc.2005.08.042]
Sputter depth profiling by secondary ion mass spectrometry coupled with sample current measurements
BARDI, UGO;LAVACCHI, ALESSANDRO;
2006
Abstract
Study of a special method for performing depth profiling of a solid substance
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